Siliziumnitrid-Keramik-Gasleitblech Si3N4-Lochplatte für Halbleiterfertigungsanlagen

Die Siliziumnitrid-Gasleitwand ist mit hochreinem Siliziumnitridpulver gesintert, weist eine hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit sowie eine gute Verschleißfestigkeit auf und wird häufig in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet, um die Verteilung des Luftstroms anzupassen.

Marke:
ATCERA
Artikelnr.:
AT-SN-BS001

Materialien
Si3N4
Formen
Plate
Anwendungen
Semiconductor , Mechanical Parts , Photovoltaic Cell Industry

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Eigenschaften von Siliziumnitrid-Keramik Gasleitblech

Die Gasleitwand aus Siliziumnitrid ist beständig gegen hohe Temperaturen und Korrosion, weist eine gute Verschleißfestigkeit auf, ist leicht zu reinigen und weist eine lange Lebensdauer auf.

Anwendungen von Si₃N₄ Gasleitblech

Siliziumnitrid-Gasleitbleche werden in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet, mit denen die Verteilung des Luftstroms angepasst werden kann, um den Luftstrom gleichmäßig und stabil zu machen und so die Produktionseffizienz und Produktqualität zu verbessern.

Produktparameter
Materialparameter

Kundenspezifisches Design für Siliziumnitrid-Gasleitblech

Wir sind bestrebt, optimale Siliziumnitrid-Gasleitbleche zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Zeichnungen und andere Anforderungen müssen bereitgestellt werden, wenn ein individuelles Design gewünscht wird.

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Silicon nitride ceramic gas baffle

Technische Daten von Siliziumnitrid-Materialien

Si3N4-Typ	Gasdrucksintern von Si3N4	Heißpressen und Sintern von Si3N4
Dichte (g/cm³)	3.2	3.3
Biegefestigkeit (MPa)	700	900
Young-Modul (GPa)	300	300
Poissonzahl	0,25	0,28
Druckfestigkeit (MPa)	2500	3000
Härte (GPa)	15	16
Bruchzähigkeit (MPa*m^1/2)	5~7	6~8
Maximale Arbeitstemperatur (â)	1100	1300
Wärmeleitfähigkeit (W/m*K)	20	25
Wärmeausdehnungskoeffizient (/â)	3*10^-6	3,1*10^-6
Wärmeschockbeständigkeit (ΔT â)	550	800

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Siliziumnitridmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer Si₃N₄-Produkte und -Teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Siliziumnitrid-Produkte und -Teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können. Detaillierte Parameter werden durch Art und Zusammensetzung des Stabilisierungsmittels bestimmt.

Wertvolle Informationen

Si₃N₄ Gasleitblechpackung

Gasleitbleche aus Siliziumnitrid werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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