1. Keramiksubstrat
Siliziumkarbid hat eine große Energielücke, eine hohe thermische Stabilität und eine gute Wärmeleitfähigkeit und kann zur Herstellung von Substraten für Photovoltaikzellen verwendet werden.
2. Keramisches Waffeltablett
Aluminiumoxid- und Siliziumkarbidkeramiken weisen eine hohe Temperaturbeständigkeit und Verschleißfestigkeit auf. Sie können zur Herstellung von Trays zum Transport von Wafern für verschiedene Prozesse wie RTA (Rapid Thermal Annealing) und PVD (Physical Vapor) verwendet werden Abscheidung), ICP (Induktiv gekoppeltes Plasma), CMP (chemisch-mechanisches Polieren), um einen guten Verarbeitungseffekt und eine hohe Effizienz zu erzielen;
3. Keramik-Vakuumspannfutter
Aluminiumoxid- und Siliziumkarbidkeramiken haben eine gute Oberflächenbeschaffenheit und eine starke Absorptionskraft, wenn Luft gepumpt wird. Auch Keramik-Vakuumspannfutter weisen eine hohe Temperaturbeständigkeit auf und werden häufig zum Absorbieren und Übertragen von Wafern während des Produktionsprozesses verwendet ;
4. Wafer-Boot und Bootshalterung
Siliziumkarbid und Quarz haben eine hohe Temperaturbeständigkeit und eine gute Verschleißfestigkeit, außerdem ist die Dichte niedrig und das Gewicht gering, sie eignen sich zur Herstellung Waferboot und Bootshalterung, um Wafer für die Diffusions- und Oxidationsbehandlung in einem Diffusionsofen zu tragen.
5. Diffusionsofenrohr
Quarzrohr hat eine hohe Temperaturbeständigkeit und ausgezeichnete thermische Stabilität, es kann als Diffusionsofenrohr für den Diffusions- und Oxidationsprozess von Solarzellen-Siliziumwafern verwendet werden.
