Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
Hochentwickelte Keramik hat ein breites Anwendungsspektrum in der Halbleiterindustrie, wie z. B. Hochleistungs-Substrate, elektronische Komponentenpakete, Kühlkörper und Teile von Halbleiterproduktionsanlagen usw. Die Leistung und Produktionseffizienz von Halbleiterprodukte wurden im Vergleich zu herkömmlichen Produkten erheblich verbessert und erfüllen die Anforderungen der rasanten Entwicklung der Branche.
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Eigenschaften von Hochleistungskeramik
Hochleistungskeramik , eine Art nichtmetallisches Material mit hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften, einschließlich guter elektrischer Isolationsleistung, hoher Härte, guter Verschleißfestigkeit, hoher Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit sowie guter Wärmeableitungsleistung.
| F: Welche Arten von Keramikmaterialien werden üblicherweise in der Halbleiterfertigung verwendet? |
| Aï¼Zu den gängigen Keramikmaterialien, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden, gehören Aluminiumoxid (AlâOâ), Siliziumnitrid (SiâNâ), Siliziumkarbid (SiC) und Aluminiumnitrid (AlN). Diese Materialien werden aufgrund ihrer hervorragenden Wärmeleitfähigkeit, elektrischen Isolierung und chemischen Stabilität ausgewählt. |
| F: Was sind die typischen Anwendungen von Keramik in der Halbleiterindustrie? |
| Aï¼Keramikkomponenten werden in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen verwendet, einschließlich Waferhandhabung, Substratträgern, Ätz- und Abscheidungsgeräten sowie in Wärmemanagementlösungen. Ihre hohe Reinheit und Stabilität unter extremen Bedingungen machen sie ideal für diese Präzisionsanwendungen. |
| F: Wie tragen Keramikmaterialien zum Wärmemanagement in Halbleiterbauelementen bei? |
| Keramische Materialien wie Aluminiumnitrid und Siliziumkarbid werden aufgrund ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit in Halbleiterbauelementen verwendet. Sie leiten Wärme effizient ab, was entscheidend ist, um Überhitzung zu verhindern und die Zuverlässigkeit und Langlebigkeit elektronischer Komponenten sicherzustellen. |
| F: Sind keramische Materialien, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden, beständig gegen chemische Korrosion? |
| Aï¼Ja, keramische Materialien, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden, sind äußerst beständig gegen chemische Korrosion. Diese Beständigkeit ist von entscheidender Bedeutung, da die Halbleiterverarbeitung oft mit aggressiven Chemikalien und Plasmaumgebungen verbunden ist, in denen Metalle und Polymere zerfallen können. |
| F: Können Keramikkomponenten für bestimmte Halbleiteranwendungen angepasst werden? |
| Aï¼Ja, Keramikkomponenten können in hohem Maße an die spezifischen Anforderungen von Halbleiteranwendungen angepasst werden. Die kundenspezifische Anpassung kann eine präzise Bearbeitung, spezifische Geometrien und die Auswahl von Materialien auf der Grundlage thermischer, elektrischer und mechanischer Anforderungen umfassen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Keramikteile perfekt in die Fertigungsanlagen passen und den hohen Standards der Halbleiterindustrie entsprechen. |
Anwendungen von Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
1. Keramiksubstrat
Aluminiumoxid-, Siliziumnitrid-, Aluminiumnitrid- und Siliziumkarbidkeramiken haben eine gute Wärmeleitfähigkeit, hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit und können zur Herstellung von Substraten, für elektronische Komponenten und integrierte Schaltkreise verwendet werden;
2. Keramisches Waffeltablett
Aluminiumoxid- und Siliziumkarbidkeramiken weisen eine hohe Temperaturbeständigkeit und Verschleißfestigkeit auf. Sie können zur Herstellung von Trays zum Transport von Wafern für verschiedene Prozesse wie RTA (Rapid Thermal Annealing) und PVD (Physical Vapor) verwendet werden Abscheidung), ICP (Induktiv gekoppeltes Plasma), CMP (chemisch-mechanisches Polieren), um einen guten Verarbeitungseffekt und eine hohe Effizienz zu erzielen;
3. Keramik-Vakuumspannfutter
Aluminiumoxid- und Siliziumkarbidkeramiken haben eine gute Oberflächenbeschaffenheit und eine starke Absorptionskraft, wenn Luft gepumpt wird. Auch Keramik-Vakuumspannfutter weisen eine hohe Temperaturbeständigkeit auf und werden häufig zum Absorbieren und Übertragen von Wafern während des Produktionsprozesses verwendet ;
4. Wafer-Boot und Bootshalterung
Siliziumkarbid und Quarz haben eine hohe Temperaturbeständigkeit und eine gute Verschleißfestigkeit, außerdem ist die Dichte niedrig und das Gewicht gering. Sie eignen sich zur Herstellung von Wafer-Booten und Bootshalterungen zum Tragen von Wafern Diffusions- und Oxidationsbehandlung in einem Diffusionsofen.
5. Diffusionsofenrohr
Quarzrohr hat eine hohe Temperaturbeständigkeit und ausgezeichnete thermische Stabilität, es kann als Diffusionsofenrohr für den Diffusions- und Oxidationsprozess von Halbleiterwafern verwendet werden.
Prozess für benutzerdefinierte Anfragen
â© Zeichnung und Musterbereitstellung
â© Produktionslösung und Bewertung der Herstellungsmethode
â© Kostenkalkulation und Angebot
â© Zahlung der Modulkosten
â© Musterlieferung
â© Probenbewertung und Bestätigung
â© Anzahlung für Großbestellung
â© Massenproduktion
â© Batch-Produktlieferung
Unterstützung
Zusätzlich zu aktuellen Standardprodukten kann ATCERA auch Lösungen entsprechend den Anwendungsszenarien und Parametern des Benutzers anpassen, um Kunden das bestmögliche Produkt und den bestmöglichen Service zu bieten.
Obwohl unser Hauptaugenmerk auf fortschrittlichen Keramikmaterialien wie Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid und Quarzkeramik liegt, erforschen wir ständig neue Materialien und Technologien. Wenn Sie einen speziellen Materialbedarf haben, kontaktieren Sie uns bitte und wir werden unser Bestes tun, um Ihre Bedürfnisse zu erfüllen oder geeignete Partner zu finden.
Absolut. Unser technisches Team verfügt über fundierte Kenntnisse über keramische Materialien und umfangreiche Erfahrung im Produktdesign. Gerne beraten wir Sie bei der Materialauswahl und unterstützen Sie beim Produktdesign, um die optimale Leistung Ihrer Produkte sicherzustellen.
Bei uns gibt es keinen festen Mindestbestellwert. Wir konzentrieren uns stets darauf, die Bedürfnisse unserer Kunden zu erfüllen, und sind bestrebt, unabhängig von der Bestellgröße qualitativ hochwertige Dienstleistungen und Produkte anzubieten.
Neben Keramikprodukten bieten wir auch eine Reihe zusätzlicher Dienstleistungen an, darunter unter anderem: maßgeschneiderte Keramikverarbeitungsdienstleistungen basierend auf Ihren Bedürfnissen unter Verwendung von selbst hergestellten Rohlingen oder Halbzeugrohlingen; Wenn Sie an ausgelagerten Keramikverpackungs- und Metallisierungsdienstleistungen interessiert sind, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Gespräche. Wir sind stets bestrebt, Ihnen eine Lösung aus einer Hand zu bieten, die Ihren unterschiedlichen Anforderungen gerecht wird.
Ja, das tun wir. Ganz gleich, wo Sie sich auf der Welt befinden, wir können die sichere und pünktliche Lieferung Ihrer Bestellung gewährleisten.
