Silicon carbide wafer boat
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Siliziumkarbid-Wafer-Boot SiC-Boot für die Wafer-Handhabung

Das Siliziumkarbid-Waferboot ist eine Schlüsselkomponente in der Produktionsausrüstung für Halbleiterwafer und Photovoltaikzellen und wird verwendet, um das Waferboot (oder die Bootshalterung), das den Halbleiterwafer oder den Solarsiliziumwafer enthält, zur Beschichtungsbehandlung in den Diffusionsofen zu transportieren.

  • Marke:

    ATCERA
  • Artikelnr.:

    AT-SIC-J1001
  • Materialien

    Silicon Carbide (SiC) Ceramic
  • Formen

    Mechanical Parts
  • Anwendungen

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
Silicon carbide wafer boat

Eigenschaften von Siliziumkarbid-Waferboot

Siliziumkarbid-Waferboot hat eine hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Biegefestigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit, gute thermische Stabilität, hohe Tragfähigkeit bei hohen Temperaturen, starke Oxidationsbeständigkeit, ohne Abfall von Verunreinigungen.

1. Siliziumkarbid-Wafer-Boot ist beständig gegen hohe Temperaturen, die maximale Einsatztemperatur kann bis zu 1600 °C erreichen, hat eine gute Temperaturwechselbeständigkeit und die Lebensdauer beträgt mehr als 5 Jahre;

2. Siliziumkarbid-Wafer-Bootsmaterial ist hochrein, vermeidet das Einbringen von Verunreinigungen, reduziert die Verschmutzung der Geräteumgebung im Prozess und kann die Produktqualität effektiv verbessern;

3. Das Siliziumkarbid-Waferboot hat ein geringes Gewicht, eine hohe Festigkeit und eine hohe Tragfähigkeit bei hohen Temperaturen, so dass die Größe des Ladesystems reduziert werden kann, um den Anforderungen einer höheren Leistung bei der Einzelchargenproduktion gerecht zu werden;

4. Der Wärmeausdehnungskoeffizient des Siliziumkarbid-Waferboots ist sehr klein, ähnlich wie bei der LPCVD-Beschichtung. Wenn er auf LPCVD aufgetragen wird, verlängert sich der Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich.

Applications of SiC Wafer Boat

Anwendungen von SiC-Wafer-Boot

Das Siliziumkarbid-Waferboot ist eine Schlüsselkomponente in Anlagen zur Herstellung von Photovoltaikzellen und Halbleiterwafern und dient zum Transport von Solarsiliziumwafern und Halbleiterwafern in Diffusionsöfen bei hohen Temperaturen (1000–1300 °C)

1. Industrie zur Herstellung von Photovoltaikzellen

2. Halbleiter-Wafer-Herstellungsindustrie

Kundenspezifisches Design für SiC-Wafer-Boot

Wir sind bestrebt, optimale Siliziumkarbid-Waferboote zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Zeichnungs- und Spezifikationsanforderungen müssen bereitgestellt werden, wenn ein individuelles Design gewünscht wird.

Bearbeitungstoleranz:
1. Durchmesser: ±0,01 mm
2. Oberflächenrauheit: Ra0,5
3. Zylindrizität: ±0,004 mm
4. Konzentrizität: ±0,003 mm
5. Parallelität: ±0,002 mm

Customized Design for SiC Wafer Boat

Technische Daten von Silizium-Karbid Materialien

Artikel Einheit Indexdaten
Reaktionsgesintertes SiC
(SiSiC)
Mit SiC gebundenes Siliziumnitrid
(NBSiC)
Gesintertes SiCn ohne Druck
(SSiC)
SiC-Gehalt % 85 80 99
Kostenloser Siliziuminhalt % 15 0 0
Max. Service-Temp. â 1380 1550 1600
Dichte g/cm3 3.02 2,72 3.1
Porosität % 0 12 0
Biegefestigkeit 20â Mpa 250 160 380
1200â Mpa 280 180 400
Elastizitätsmodul 20â Gpa 330 220 420
1200â Gpa 300 / /
Wärmeleitfähigkeit 1200â W/m.k 45 15 74
Wärmeausdehnungskoeffizient K-1×10-6 4,5 5 4.1
Vickers-Härte HV kg/mm2 2500 2500 2800

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Siliziumkarbidmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer SiC-Produkte und -Teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Siliziumkarbidprodukte und -teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können.

Gebrauchsanweisung

1. Das Siliziumkarbid-Wafer-Boot sollte mit Hilfe spezieller Handhabungswerkzeuge bewegt werden, um heftige Kollisionen und starke Vibrationen zu vermeiden;
2. Siliziumkarbid-Waferboote sollten in einer trockenen, staubfreien und nicht korrosiven Gasumgebung gelagert werden, um Feuchtigkeit und Erosion zu verhindern;
3. Vor der Verwendung des Siliziumkarbid-Waferbootes sollte zunächst eine optische Inspektion durchgeführt werden, um zu prüfen, ob Mängel wie Beschädigungen, Verformungen, Risse usw. vorliegen.
4. Das Siliziumkarbid-Waferboot sollte regelmäßig gewartet werden, einschließlich Reinigung, Inspektion und Austausch beschädigter Teile.

Wertvolle Informationen

SiC Wafer Boat Packing

SiC-Wafer-Bootsverpackung

Siliziumkarbid-Waferboote werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung
Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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Obwohl unser Hauptaugenmerk auf fortschrittlichen Keramikmaterialien wie Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid und Quarzkeramik liegt, erforschen wir ständig neue Materialien und Technologien. Wenn Sie einen speziellen Materialbedarf haben, kontaktieren Sie uns bitte und wir werden unser Bestes tun, um Ihre Bedürfnisse zu erfüllen oder geeignete Partner zu finden.

Absolut. Unser technisches Team verfügt über fundierte Kenntnisse über keramische Materialien und umfangreiche Erfahrung im Produktdesign. Gerne beraten wir Sie bei der Materialauswahl und unterstützen Sie beim Produktdesign, um die optimale Leistung Ihrer Produkte sicherzustellen.

Bei uns gibt es keinen festen Mindestbestellwert. Wir konzentrieren uns stets darauf, die Bedürfnisse unserer Kunden zu erfüllen, und sind bestrebt, unabhängig von der Bestellgröße qualitativ hochwertige Dienstleistungen und Produkte anzubieten.

Neben Keramikprodukten bieten wir auch eine Reihe zusätzlicher Dienstleistungen an, darunter unter anderem: maßgeschneiderte Keramikverarbeitungsdienstleistungen basierend auf Ihren Bedürfnissen unter Verwendung von selbst hergestellten Rohlingen oder Halbzeugrohlingen; Wenn Sie an ausgelagerten Keramikverpackungs- und Metallisierungsdienstleistungen interessiert sind, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Gespräche. Wir sind stets bestrebt, Ihnen eine Lösung aus einer Hand zu bieten, die Ihren unterschiedlichen Anforderungen gerecht wird.

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