sic vacuum chuck for chip manufacturing
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Siliziumkarbid-Vakuumfutter

Die Oberfläche des Vakuumspannfutters aus Siliziumkarbid weist kleine Löcher oder Kanäle auf, die mit dem Vakuumpumpensystem verbunden sind. Wenn die Vakuumpumpe in Betrieb ist, wird eine Druckdifferenz erzeugt, um Gegenstände zu absorbieren, die zum Absorbieren dünner und leichter Gegenstände wie Wafer, Chips, Solarzellen usw. geeignet sind.

  • Marke:

    ATCERA
  • Artikelnr.:

    AT-THG-XP001
  • Materialien

    SiC
  • Formen

    Mechanical Parts
  • Anwendungen

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
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Eigenschaften von Siliziumkarbidkeramik Vakuumspannfutter

1. Hohe Verschleißfestigkeit

Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter hat eine hohe Festigkeit und gute Verschleißfestigkeit, die Lebensdauer ist lang, so dass die Häufigkeit des Austauschs und die Nutzungskosten reduziert werden.

2. Hohe Temperaturbeständigkeit

Das Material des Siliziumkarbid-Vakuumspannfutters kann über einen langen Zeitraum in einer Umgebung mit hohen Temperaturen verwendet werden, um den Anforderungen der Elektronik-, Halbleiter- und anderen Branchen an die Produktion und Verarbeitung in einer Umgebung mit hohen Temperaturen gerecht zu werden.

3. Starke Adsorption

Die Oberfläche des Siliziumkarbid-Vakuumspannfutters ist glatt und verfügt über eine sehr starke Adsorptionskraft, die den Gegenstand leicht absorbieren und effektiv lokalisieren kann, und er ist bequem und sicher zu verwenden.

sic ceramic vacuum chuck

Anwendungen von SiC Vakuumfutter

Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter kann in der Chipherstellung, der Produktion elektronischer Geräte, der Photovoltaikindustrie usw. verwendet werden.

1. Chipherstellung

Im Halbleiterchip-Produktionsprozess kann ein Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter zum Aufsaugen und Übertragen von Wafern oder Chips verwendet werden, um sicherzustellen, dass die Wafer- oder Chipoberfläche nicht zerkratzt und kontaminiert wird, und um die Produktionseffizienz zu verbessern.

2. Elektronische Geräte

Bei der Montage elektronischer Geräte kann ein Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter zur Aufnahme kleiner elektronischer Teile zum Zweck der Übertragung und Präzisionspositionierung verwendet werden.

3. Photovoltaikindustrie

Das Siliziumkarbid-Vakuumfutter kann bei der Herstellung von Photovoltaikmodulen verwendet werden, um Solarzellen aufzunehmen und an eine festgelegte Station zu übertragen.

Größentabelle für Siliziumkarbid Vakuumfutter

Wir sind bestrebt, optimale Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Zeichnungs- und Spezifikationsanforderungen müssen bereitgestellt werden, wenn ein individuelles Design gewünscht wird.

Siliziumkarbid-Vakuumfutter, quadratisch
Artikel-Nr. L × B × H
(mm)
Material
AT-THG-XP001 305*305*14 Edelstahl 316 gepaart mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP002 305*305*14 Edelstahl 316 gepaart mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP003 420*275*20 Aluminiumlegierung integriert mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP004 450*200*20 SKD61-Legierung verschmolzen mit poröser Keramik
AT-THG-XP005 520*520*20 Aluminiumlegierung verschmolzen mit mikroporöser Keramik

Siliziumkarbid-Vakuumfutter rund
Artikel-Nr. Durchm. × H
(mm)
Material
(mm)
AT-THG-XP006 174*10 Edelstahl 316, verflochten mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP007 230*16 Edelstahl 316 kombiniert mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP008 239*12 Aluminiumlegierung gemischt mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP009 240*12 Edelstahl 316 kombiniert mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP010 320*16 Edelstahl 316 harmoniert mit mikroporöser Keramik
AT-THG-XP011 325*12 Aluminiumlegierung, verbunden mit mikroporöser Keramik

Technische Daten von Silizium-Karbid Materialien

Artikel Einheit Indexdaten
Reaktionsgesintertes SiC
(SiSiC)
Mit SiC gebundenes Siliziumnitrid
(NBSiC)
Gesintertes SiCn ohne Druck
(SSiC)
SiC-Gehalt % 85 80 99
Kostenloser Siliziuminhalt % 15 0 0
Max. Service-Temp. â 1380 1550 1600
Dichte g/cm3 3.02 2,72 3.1
Porosität % 0 12 0
Biegefestigkeit 20â Mpa 250 160 380
1200â Mpa 280 180 400
Elastizitätsmodul 20â Gpa 330 220 420
1200â Gpa 300 / /
Wärmeleitfähigkeit 1200â W/m.k 45 15 74
Wärmeausdehnungskoeffizient K-1×10-6 4,5 5 4.1
Vickers-Härte HV kg/mm2 2500 2500 2800

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Siliziumkarbidmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer SiC-Produkte und -Teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Siliziumkarbidprodukte und -teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können.

Gebrauchsanweisung

1. Stellen Sie sicher, dass die Oberfläche des Vakuumspannfutters keine Risse aufweist. Wenn ein Riss vorhanden ist, kann Luft hineingedrückt werden und eine Vakuumadsorption kann nicht erreicht werden.
2. Überprüfen Sie die Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit des Vakuumspannfutters, um die Adsorptionskapazität sicherzustellen.
3. Vermeiden Sie Stöße während der Installation und Verwendung, um das Vakuumspannfutter nicht zu beschädigen.
4. Bei der Inbetriebnahme des Produktionssystems muss die Adsorptionskraft des Vakuumspannfutters getestet und nach Erfüllung der Anforderungen in Betrieb genommen werden.
5. Überprüfen Sie regelmäßig die Oberfläche des Vakuumspannfutters, entfernen Sie rechtzeitig Rückstände und Schmutz und tauschen Sie es aus, wenn es Risse oder Beschädigungen aufweist.

Wertvolle Informationen

Silicon Carbide Ceramic Vacuum Chuck Packing

Siliziumkarbid-Keramik-Vakuumspannfutter-Verpackung

Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung
Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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