Silicon carbide tray
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Siliziumkarbid-Tablett SiC RTA PVD ICP CMP Tablett

Die Siliziumkarbidschale wird nach dem Sintern aus hochreinem Siliziumkarbidpulver geformt und dient als Trägervorrichtung für Halbleiterherstellungsprozesse wie RTA (Rapid Thermal Annealing), PVD (Physical Vapour Deposition), ICP (Induktiv gekoppeltes Plasma), CMP (chemisch). mechanisches Polieren) und so weiter.

  • Marke:

    ATCERA
  • Artikelnr.:

    AT-THG-CZ1001
  • Materialien

    Silicon Carbide (SiC) Ceramic
  • Formen

    Plate
  • Anwendungen

    Semiconductor
Silicon carbide tray

Eigenschaften von Siliziumkarbid-Tablett

1. Hervorragende Wärmeleitfähigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient, gute Temperaturwechselbeständigkeit;

2. Hohe Temperaturbeständigkeit, Plasmaschlagfestigkeit;

3. Beständig gegen verschiedene starke Säuren, Laugen und chemische Reagenzien;

4. Hohe Härte, hohe Festigkeit, gute Verschleißfestigkeit.

Applications of SiC Tray

Anwendungen von SiC-Tray

Siliziumkarbid-Tablett wird als Trägerplatte im Halbleiterfertigungsprozess (einschließlich LED) verwendet.

Größentabelle für Siliziumkarbid-Tablett

Wir sind bestrebt, hochwertige Siliziumkarbidschalen zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Zeichnungs- und Parameteranforderungen müssen bereitgestellt werden, wenn ein individuelles Design gewünscht wird. (maximale Größe bis 500*500 mm und Durchmesser bis 500 mm)

Bearbeitungstoleranz:
Durchmesser ±0,25 mm
Dicke ±25μm
Kristallorientierung <001> ±0,5°
Ausrichtung der Kristallfläche ±0,5°
Kantenausrichtung ≤2°
Andere Parameter kontaktieren Sie bitte ATCERA.

Abmessungstoleranz:
Durchmesser: ±0,1 mm
Dicke: ±0,05 mm
Ebenheit: 0,003 mm

Drawing of Silicon Carbide Tray SiC PVD Tray

Siliziumkarbid-Tablett SiC-PVD-Tablett
Artikel-Nr. Durchmesser
(mm)
Dicke
(mm)
SiC-Reinheit
(%)
AT-THG-CZ1001 230 3 99
AT-THG-CZ1002 300 1,4 99
AT-THG-CZ1003 300 3 99
AT-THG-CZ1004 330 1,4 99
AT-THG-CZ1005 330 3 99

Drawing of Silicon Carbide Tray SiC ICP Tray

Siliziumkarbid-Tablett SiC ICP-Tablett
Artikel-Nr. Durchmesser
(mm)
Dicke
(mm)
SiC-Reinheit
(%)
AT-THG-CZ2001 300 3 99
AT-THG-CZ2002 300 4.4 99
AT-THG-CZ2003 3304.4 99
AT-THG-CZ2004 330 3 99
AT-THG-CZ2005 380 4.4 99
AT-THG-CZ2006 380 3 99

Technische Daten von Silizium-Karbid Materialien

Artikel Einheit Indexdaten
Reaktionsgesintertes SiC
(SiSiC)
Mit SiC gebundenes Siliziumnitrid
(NBSiC)
Gesintertes SiCn ohne Druck
(SSiC)
SiC-Gehalt % 85 80 99
Kostenloser Siliziuminhalt % 15 0 0
Max. Service-Temp. â 1380 1550 1600
Dichte g/cm3 3.02 2,72 3.1
Porosität % 0 12 0
Biegefestigkeit 20â Mpa 250 160 380
1200â Mpa 280 180 400
Elastizitätsmodul 20â Gpa 330 220 420
1200â Gpa 300 / /
Wärmeleitfähigkeit 1200â W/m.k 45 15 74
Wärmeausdehnungskoeffizient K-1×10-6 4,5 5 4.1
Vickers-Härte HV kg/mm2 2500 2500 2800

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Siliziumkarbidmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer SiC-Produkte und -Teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Siliziumkarbidprodukte und -teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können.

Gebrauchsanweisung

1. Reinigungsbehandlung
Vor der Lagerung muss die Siliziumkarbidschale gereinigt werden, um Oberflächenverunreinigungen und Schadstoffe zu entfernen. Zum Reinigen und Trocknen mit einem staubfreien Tuch können Sie ein spezielles Reinigungsmittel oder Alkohol verwenden;
2. Trocknungsbehandlung
Die gereinigte Siliziumkarbid-Schale sollte getrocknet werden, um Restfeuchtigkeit zu entfernen. Das Tablett kann in einer Umgebung mit niedriger Luftfeuchtigkeit auf natürliche Weise getrocknet oder mit einem Trockner getrocknet werden;
3. Speicherumgebung
Die Siliziumkarbidschale sollte in einer trockenen, sauberen und staubfreien Umgebung gelagert werden, um Feuchtigkeit, Verschmutzung und Staub zu vermeiden;
4. Stoßfest und sturzsicher
Während des Konservierungs- und Transportprozesses sollte das Tablett vor starken Vibrationen oder Stürzen geschützt werden, um eine Beschädigung oder Beeinträchtigung der Genauigkeit zu vermeiden;
5. Regelmäßige Inspektion
Der Zustand der Siliziumkarbid-Schale sollte regelmäßig überprüft werden, einschließlich Aussehen, Genauigkeit und Stabilität usw., um sicherzustellen, dass sie vor der Verwendung in gutem Zustand ist.

Wertvolle Informationen

SiC Tray Packing

SiC-Tray-Verpackung

Siliziumkarbid-Trays werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung
Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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Absolut. Unser technisches Team verfügt über fundierte Kenntnisse über keramische Materialien und umfangreiche Erfahrung im Produktdesign. Gerne beraten wir Sie bei der Materialauswahl und unterstützen Sie beim Produktdesign, um die optimale Leistung Ihrer Produkte sicherzustellen.

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Neben Keramikprodukten bieten wir auch eine Reihe zusätzlicher Dienstleistungen an, darunter unter anderem: maßgeschneiderte Keramikverarbeitungsdienstleistungen basierend auf Ihren Bedürfnissen unter Verwendung von selbst hergestellten Rohlingen oder Halbzeugrohlingen; Wenn Sie an ausgelagerten Keramikverpackungs- und Metallisierungsdienstleistungen interessiert sind, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Gespräche. Wir sind stets bestrebt, Ihnen eine Lösung aus einer Hand zu bieten, die Ihren unterschiedlichen Anforderungen gerecht wird.

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