alumina vacuum chuck
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Mikroporöse Keramik-Vakuumspannvorrichtung. Poröse Aluminiumoxidkeramik für Präzisionsanwendungen

Die elektrostatische Vakuumspannvorrichtung nutzt die Coulombsche Kraft, die zwischen dem Werkstück (dem zu bearbeitenden Objekt) und der Elektrode mit angelegter Spannung erzeugt wird, um das Werkstück sicher zu absorbieren. Seine Hauptvorteile liegen in der gleichmäßigen Verteilung der Adsorptionskraft über die Oberfläche des Wafers, wodurch sichergestellt wird, dass es nicht zu Verwerfungen oder Verformungen kommt. Die konstante und stabile Adsorptionskraft garantiert die Präzision der Waferverarbeitung und minimiert gleichzeitig Kontamination und Beschädigung des Wafers, sodass er für Hochvakuumumgebungen geeignet ist.

  • Marke:

    ATCERA
  • Artikelnr.:

    AT-YHL-XP001
  • Materialien

    Alumina
  • Formen

    Plate
  • Anwendungen

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
alumina vacuum chuck

Eigenschaften von Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter

1. Kompatibel für den Einsatz sowohl in Atmosphären- als auch Vakuumumgebungen.

2. Kann Leiter, Halbleiter, Isolatoren und poröse Materialien adsorbieren.

3. Vereinfachter Klemm- und Handhabungsmechanismus mit geringem Energieverbrauch durch elektrostatische Adsorption.

4. Gleichmäßige Verteilung der Adsorptionskraft, wodurch lokale Spannungen während der Adsorption vermieden werden.

5. Schonende Unterstützung großflächiger dünner Werkstücke, Vermeidung von Kratzern und Falten beim Ansaugen.

6. Schnelle Aktivierung und Deaktivierung, ohne Restpotential auf der Rückseite des Objekts, wodurch die Anziehung von umgebendem Staub verhindert wird.

Ceramic Vacuum Chucks for Semiconductor Industry

Anwendungen von Mikroporösem Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter

Ideal für die Vakuumlaminierung bei der Panelherstellung, beim Verpacken von Halbleiterchips, bei der Herstellung integrierter Mikroelektronikschaltkreise, bei der Herstellung optischer Präzisionskomponenten und bei der Produktion von Solarphotovoltaik.

Größentabelle von Aluminiumoxid-Vakuumfutter

Wir sind bestrebt, optimale Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Bitte geben Sie die spezifischen Anwendungsszenarien, Abmessungen der Keramikkugeln und die erforderlichen Verwendungsparameter an, falls Anpassungsanforderungen erforderlich sind.

Spezifikationstoleranzen:

1. Größenbereich: 05 mm–0800 mm

2. Mikroporengröße: 20–60 µm

3. Porosität: 30-50 %

4. Planare Genauigkeit des Vakuumspannfutters: 6–8 Zoll <3 um; 12 Zoll <5um

Anpassungsanforderungen:

1. Geben Sie Abmessungen, Dicke und Form für 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 Zoll und nicht standardmäßige Anpassungen an.

2. Wählen Sie aus Aluminiumlegierung, Edelstahl, Keramik, Kunststoff und anderen Materialien für Basis und Rahmen.

Mikroporöses Vakuumfutter aus Aluminiumoxid, quadratisch
Artikel-Nr. Länge (mm) Breite (mm) Dicke (mm) Material
AT-YHL-XP001 305 305 14 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik (braun)
AT-YHL-XP002 305 305 14 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik (braun)
AT-YHL-XP003 420 275 20 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP004 450 200 20 SKD61 + poröse Keramik
AT-YHL-XP005 520 520 20 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik

Mikroporöses Vakuumfutter aus Aluminiumoxid, rund
Artikel-Nr. Durchmesser (mm) Dicke (mm) Material
AT-YHL-XP006 174 10 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP007 220 35 Nur Aluminiumoxidkeramik
AT-YHL-XP008 230 16 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP009 239 12 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP010 240 12 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP011 286 20 Nur Aluminiumoxidkeramik
AT-YHL-XP012 320 16 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
AT-YHL-XP013 325 12 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik

Technische Daten von Aluminiumoxidmaterialien

Material 99 % Aluminiumoxid (AL2O3)
Wärmeleitfähigkeit 24,0w/m.k
Elektrische Isolierung ≤22,5 KV, Temperaturbeständigkeit bis 1600 °C
Dichte 3,83g/cm3
Wärmeausdehnungskoeffizient 7*10-6
Biegefestigkeit (bei Raumtemperatur) 310 MPa
Druckfestigkeit (bei Raumtemperatur) 2200MPa
Härte (Hv) 1650
Bruchzähigkeit 4,2 MPa*m1/2

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Aluminiumoxidmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer Aluminiumoxidprodukte und -teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Aluminiumoxidprodukte und -teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können.

Gebrauchsanweisung

1. Zum Blasen keinen Überdruck verwenden. (Anpassung für Luftfederungsanforderungen möglich.)
2. Gehen Sie vorsichtig damit um und vermeiden Sie Kratzer oder Stöße mit harten Gegenständen auf die Keramikoberfläche, um Verformungen, Präzisionsverluste oder Risse zu vermeiden.
3. Wenden Sie keine Hitze an, da die thermische Kontraktion der Aluminiumlegierungsbasis aufgrund des Drucks zu Keramikrissen führen kann.
4. Von Verunreinigungen wie Öl, Kleber und Farbe fernhalten. In einer staub- und ölfreien Umgebung verwenden, um eine Verstopfung der Mikroporen zu verhindern.
5. Entfernen Sie Staub und Schmutz mit rückstandsfreiem Klebeband oder Hochdruckwasserstrahl von der Oberfläche.

Wertvolle Informationen

Alumina Vacuum Chuck Packing

Aluminiumoxid-Vakuum-Spannfutterverpackung

Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung
Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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FAQ

Obwohl unser Hauptaugenmerk auf fortschrittlichen Keramikmaterialien wie Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid und Quarzkeramik liegt, erforschen wir ständig neue Materialien und Technologien. Wenn Sie einen speziellen Materialbedarf haben, kontaktieren Sie uns bitte und wir werden unser Bestes tun, um Ihre Bedürfnisse zu erfüllen oder geeignete Partner zu finden.

Absolut. Unser technisches Team verfügt über fundierte Kenntnisse über keramische Materialien und umfangreiche Erfahrung im Produktdesign. Gerne beraten wir Sie bei der Materialauswahl und unterstützen Sie beim Produktdesign, um die optimale Leistung Ihrer Produkte sicherzustellen.

Bei uns gibt es keinen festen Mindestbestellwert. Wir konzentrieren uns stets darauf, die Bedürfnisse unserer Kunden zu erfüllen, und sind bestrebt, unabhängig von der Bestellgröße qualitativ hochwertige Dienstleistungen und Produkte anzubieten.

Neben Keramikprodukten bieten wir auch eine Reihe zusätzlicher Dienstleistungen an, darunter unter anderem: maßgeschneiderte Keramikverarbeitungsdienstleistungen basierend auf Ihren Bedürfnissen unter Verwendung von selbst hergestellten Rohlingen oder Halbzeugrohlingen; Wenn Sie an ausgelagerten Keramikverpackungs- und Metallisierungsdienstleistungen interessiert sind, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Gespräche. Wir sind stets bestrebt, Ihnen eine Lösung aus einer Hand zu bieten, die Ihren unterschiedlichen Anforderungen gerecht wird.

Ja, das tun wir. Ganz gleich, wo Sie sich auf der Welt befinden, wir können die sichere und pünktliche Lieferung Ihrer Bestellung gewährleisten.

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