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AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck
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Elektrostatisches Spannfutter aus Aluminiumnitrid-Keramik

Elektrostatisches Spannfutter aus Aluminiumnitrid-Keramik (ESC, E-Chuck) ist eine Art Vorrichtung, die das Prinzip der elektrostatischen Adsorption anwendet, um das adsorbierte Objekt zu halten und zu fixieren. Es eignet sich für Vakuum- und Plasmaumgebungen. Die Hauptfunktion besteht darin, dünne Folien (z. B B. Wafer, Solarzellen usw.) im Prozess des Transports und der Fixierung kann es dafür sorgen, dass die adsorbierten Objekte eine hohe Ebenheit beibehalten und ihre Verformung verhindert wird.

  • Marke:

    ATCERA

  • Artikelnr.:

    AT-AIN-JD1001

  • Materialien

    AlN

  • Formen

    Mechanical Parts

  • Anwendungen

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
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Aluminum nitride ceramic electrostatic chuck

Eigenschaften von Aluminiumnitrid Elektrostatischer Spannfutter

1. Das elektrostatische Spannfutter aus Aluminiumnitrid-Keramik verfügt über einen großen Arbeitstemperaturbereich, eine starke Adsorptionskraft und kann angepasst werden, sodass es für eine Vielzahl unterschiedlicher Prozessanforderungen geeignet ist;

2. Die Oberfläche des Aluminiumnitrid-Keramikfutters ist glatt und weist eine hohe Ebenheit auf, die Adsorptionskraft ist gleichmäßig und die aadsorbierten Objekte können eine hohe Ebenheit beibehalten und die Verarbeitungsqualität verbessern;

3. Das Aluminiumnitrid-Keramikfutter ist beständig gegen Hochtemperatur-, Säure- und Alkalikorrosion, mit guter Anwendbarkeit und langer Lebensdauer.

Aluminum nitride electrostatic chuck

Anwendungen von AlN Elektrostatisches Spannfutter

Ein elektrostatisches Spannfutter aus Aluminiumnitridkeramik ist eine Art Adsorptionsbefestigungswerkzeug, das in der Halbleiter- und Solarzellenindustrie für Produktionsprozesse verwendet wird. Es ist eine der Kernkomponenten von Ätzgeräten, PVD-Geräten, PECVD-Geräten, Ionenimplantationsgeräten usw.

Anpassungsdesign für Elektrostatische Spannvorrichtung aus Aluminiumnitrid-Keramik

Wir sind bestrebt, erstklassige elektrostatische Spannfutter aus Aluminiumnitrid zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Zeichnungs- und Parameteranforderungen bereitstellen.

Oberflächenrauheit: Ra0,2

Anforderungen für kundenspezifisches Design senden


Heißgepresste Aluminiumnitridplatte, rechteckig
Artikelnr. Max. Länge (mm) Max. Breite (mm) Max. Höhe (mm)
AT-AIN-RY1001 ï¼500 ï¼500 ï¼350

Heißgepresste Aluminiumnitridplatte rund
Artikelnr. Max. Außendurchmesser (mm) Max. Höhe (mm)
AT-AIN-RY2001 ï¼500 ï¼500

Technische Daten von Aluminiumnitrid-Materialien

AlN-Typ ALN-170 ALN-200
 ALN-230
Dichte (g/cm3) 3.3 3,28 3,25
Biegefestigkeit (MPa) 450 400 350
Young-Modul (GPa) 320 / /
Härte (Hv) 1100 1100
 1100
Bruchzähigkeit (MPa*m1/2) 3 2,6 2.4
Maximale Arbeitstemperatur (â) 1100 1100
 1100
Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) 180 200
 230
Wärmeausdehnungskoeffizient (/â) 4*10-6 4*10-6
 4*10-6
Dielektrizitätskonstante (bei 1 MHz) 9 8,7
 8,5
Durchbruchspannung (kV/mm) >15 >15
 >15

*Diese Tabelle veranschaulicht die Standardeigenschaften der Aluminiumnitridmaterialien, die üblicherweise bei der Herstellung unserer AlN-Produkte und -Teile verwendet werden. Bitte beachten Sie, dass die Eigenschaften kundenspezifischer Aluminiumnitrid-Produkte und -Teile je nach den spezifischen Prozessen variieren können. Detaillierte Parameter werden durch Art und Zusammensetzung des Stabilisierungsmittels bestimmt.

Wertvolle Informationen

Aluminum Nitride Ceramic Electrostatic Chuck Packing

Elektrostatische Spannvorrichtung aus Aluminiumnitrid-Keramik Verpackung

Elektrostatische Spannfutter aus Aluminiumnitrid werden sorgfältig in geeigneten Behältern verpackt, um mögliche Schäden zu vermeiden.

Vorteile der Anpassung
Vorteile der Anpassung

1. Analysieren Sie entsprechend Ihrem Anwendungsszenario den Bedarf und wählen Sie das entsprechende Material und den Verarbeitungsplan aus.

2. Professionelles Team, schnelle Reaktion, kann innerhalb von 24 Stunden nach Bestätigung der Nachfrage Lösungen und Angebote bereitstellen.

3. Flexibler Mechanismus für die geschäftliche Zusammenarbeit, unterstützt mindestens eine Mengenanpassung.

4. Stellen Sie schnell Muster und Testberichte zur Verfügung, um zu bestätigen, dass das Produkt Ihren Anforderungen entspricht.

5. Unterbreiten Sie Produktnutzungs- und Wartungsvorschläge, um Ihre Nutzungskosten zu senken.

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FAQ

Obwohl unser Hauptaugenmerk auf fortschrittlichen Keramikmaterialien wie Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid und Quarzkeramik liegt, erforschen wir ständig neue Materialien und Technologien. Wenn Sie einen speziellen Materialbedarf haben, kontaktieren Sie uns bitte und wir werden unser Bestes tun, um Ihre Bedürfnisse zu erfüllen oder geeignete Partner zu finden.

Absolut. Unser technisches Team verfügt über fundierte Kenntnisse über keramische Materialien und umfangreiche Erfahrung im Produktdesign. Gerne beraten wir Sie bei der Materialauswahl und unterstützen Sie beim Produktdesign, um die optimale Leistung Ihrer Produkte sicherzustellen.

Bei uns gibt es keinen festen Mindestbestellwert. Wir konzentrieren uns stets darauf, die Bedürfnisse unserer Kunden zu erfüllen, und sind bestrebt, unabhängig von der Bestellgröße qualitativ hochwertige Dienstleistungen und Produkte anzubieten.

Neben Keramikprodukten bieten wir auch eine Reihe zusätzlicher Dienstleistungen an, darunter unter anderem: maßgeschneiderte Keramikverarbeitungsdienstleistungen basierend auf Ihren Bedürfnissen unter Verwendung von selbst hergestellten Rohlingen oder Halbzeugrohlingen; Wenn Sie an ausgelagerten Keramikverpackungs- und Metallisierungsdienstleistungen interessiert sind, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Gespräche. Wir sind stets bestrebt, Ihnen eine Lösung aus einer Hand zu bieten, die Ihren unterschiedlichen Anforderungen gerecht wird.

Ja, das tun wir. Ganz gleich, wo Sie sich auf der Welt befinden, wir können die sichere und pünktliche Lieferung Ihrer Bestellung gewährleisten.

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